技術編號：3369785
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。相關申請的交叉參考本申請涉及2001年12月27日提交的，題目為“用于電化學機械拋光的導電拋光用品”的美國專利10/033,732，該文獻在此引入作為參考，可見與本文要求方面和說明書不一致的程度。發明背景發明領域本發明涉及用于平面化基片表面的制造用品和設備。相關技術的背景亞四分之一微米多層次金屬化是用于下一代超大規模集成(ULSI)的關鍵技術。屬于此技術核心的多層次互連要求在高縮圖率小孔中形成的互連特征或部件(feature)，包括接觸，孔道，導線和其它元...
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