技術編號：3366298

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本發明涉及，尤其涉及在構成濺鍍用旋轉靶材的背板外周面上粘接靶材時，可利用將市場上容易購買且價廉的成分混合于少量銦制備而成的粘接合成物進行粘接的。背景技術一般而言，濺鍍(Sputtering)是指以膜的形式附著于目標物表面的技術，而上述濺鍍用于為了在陶瓷或半導體材料上形成電子電路，從而通過在高真空狀態下蒸發固體形成薄膜(Thin film)或厚膜(Thick film)的情況。換言之，上述濺鍍(Sputtering)為在真空狀態下充入惰性氣體(主要是氬氣(A...
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