技術編號：3355109
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及旋轉電弧柱靶裝置，特別涉及旋轉濺射電弧柱靶裝置，屬 于表面處理設備，主要用于在柱形靶材表面噴涂薄層。背景技術在給靶材表面噴涂薄層時，常采用的是利用電極進行噴涂，對于一些柱形 靶材的表面噴涂，常采用的是旋轉電弧柱靶裝置，圖1是現有的旋轉電弧柱靶裝置，它包括底部的柱靶下蓋，固定在柱靶下蓋上的磁心磁鋼20，與磁心磁鋼 連接并由陰極法蘭固定的柱靶陰極13，套置于柱靶陰極外的陰極水套ll，安裝 于陰極水套上并與柱靶陰極內腔相通的出水口 9，安裝于陰極水...
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