技術編號:3352386
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種多線切割技術,特別是涉及一種應用于。 背景技術我們知道,LED (藍色發光二極管)在當今社會中用途十分廣泛,例如各種通訊設 備、儀器儀表及顯示面板背光上均用有大量的LED。藍寶石(Sapphire)作為制作LED的重 要材料在半導體領域具有舉足輕重的地位。在形成用于制作LED藍寶石硅襯底之前,仍需 要對藍寶石硅材料進行前端加工,即將藍寶石硅棒進行切片的作業。當今對藍寶石硅棒進 行切片加工普遍采用多線切割技術,它的原理是通過一根高速運動的鋼線帶...
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