技術編號：3348482
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及，屬于表面。 背景技術Ge是一種重要的高折射率紅外透光材料，它具有化學性能穩定，與其它膜 層結合好等優點。Ge是最重要、最常用的紅外高折射率材料之一。Ge是屬于 Iv-A族元素，具有金剛石結構，烙點為96(TC，因此容易用蒸發法制備薄膜。 材料種類、沉積過程中的基底溫度、蒸發方式和速率等都會對Ge膜的性質產生 直接的影響。試驗表明，不同的熱蒸發方式不影響沉積膜層的性能。當采用電 阻加熱式蒸發舟時， 一般是通過調節加熱電流來改變蒸發舟的溫度，從而控...
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