技術編號:3276179
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種拋光設備的拋光液供給控制裝置,特別涉及透明導電玻璃基板的拋光設備的拋光液供給控制裝置,以及對使用此拋光液供給控制裝置的透明導電玻璃基板上透明導電膜的拋光過程拋光液流量供給的控制。背景技術在玻璃基板上形成的通明導電膜通常用作LCD、PDP、OLED等平板顯示器的陽極。而通明導電膜中多使用透過率高、電阻低的材料,此類材料中,普遍采用的是氧化銦(In2O3)中添加了錫(Sn)的氧化銦錫(Indium Tin Oxide簡稱為ITO)。根據不同顯...
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