技術(shù)編號:3244695
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造設(shè)備,特別是涉及一種金屬蒸發(fā)設(shè)備。 背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造工藝中,電子束蒸發(fā)鍍膜是一項非常重要的工藝。金屬 蒸發(fā)設(shè)備的腔體是否能夠保證真空,對于成膜的均勻性和膜與膜之間的粘 附性起著非常重要的作用。如果在蒸發(fā)成膜或切換蒸發(fā)源時,金屬蒸發(fā)設(shè)備 的腔體內(nèi)的真空被破壞,例如空氣或冷卻水泄漏到真空腔體,就會造成金屬 膜剝落,腔體內(nèi)的產(chǎn)品報廢。現(xiàn)有的金屬蒸發(fā)設(shè)備如圖1所示,在腔體壁10圍成的的腔體內(nèi)主要包括坩堝蓋板11、坩堝12和轉(zhuǎn)軸13。工作...
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