技術編號:3224342
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種激光加工方法和加工設備,特別是涉及一種利用激光在光敏性材料中制備具有多重周期性微結構的方法及系統。背景技術 周期性微結構在半導體微電子領域、高密度信息存儲領域、光電子器件領域等信息得到了廣泛的應用。特別是在新型光子學器件領域,周期性微結構的應用受到了廣泛的關注。其中以光子晶體為代表的利用周期性微結構對光進行調制的研究與開發工作在世界各國廣泛地開展。以半導體超晶格為代表的多重周期性微結構已經在光電子領域被廣泛研究。但是在利用光子晶體原理、即以光...
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