技術(shù)編號(hào)：3008275

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體膜晶化方法、半導(dǎo)體器件的制造方法和激光照射裝置。具體地說，本發(fā)明涉及一種可以抑制已經(jīng)晶化的半導(dǎo)體膜的質(zhì)量產(chǎn)生平面內(nèi)(in-plane)變化的半導(dǎo)體膜晶化方法、半導(dǎo)體器件的制造方法和激光照射裝置。背景技術(shù) 近年來，對(duì)通過用激光束照射半導(dǎo)體膜來晶化形成在玻璃襯底上的半導(dǎo)體膜(例如非晶半導(dǎo)體膜)的激光晶化方法展開了大量研究。為了通過半導(dǎo)體膜的晶化來增加載流子的遷移率，執(zhí)行半導(dǎo)體膜的晶化。晶化后的半導(dǎo)體膜例如用在薄膜晶體管(下面稱為TFT)中。...
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