技術編號：2872912
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型公開了一種新型離子束流形狀探測器，在陶瓷背板上具有逐一間隔擺放的石墨電極和陶瓷板。其中檢測電極為所述的石墨電極，所述石墨電極和所述陶瓷板的背部有用于固定的螺孔，所述石墨電極和所述陶瓷板的大小一樣，交錯排布。本實用新型的新型離子束流形狀探測器，適用于檢測兩種不同束流形狀的檢測器，同時兼具檢測束流穩定性的功能。專利說明新型離子束流形狀探測器 [0001]本實用新型涉及一種新型離子束流形狀探測器。 背景技術 [0002]離子注入過程中束流的形...
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