技術編號:2840588
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及放電燈,特別涉及在密封部內金屬箔和內外部導線通過集電盤電連接的放電燈。背景技術一直以來,作為用于對半導體基板或液晶顯示器用的液晶基板進行曝光的曝光裝置的紫外線光源,使用放電燈。如特開2007-115498號公報(引用文獻I)所不,該種放電燈多為在密封部內金屬箔和內外部導線通過集電盤電連接的構造。·[0004]圖2為現有放電燈的整體剖視圖,圖3為其部分放大圖。如圖2所示,在該放電燈中,由石英玻璃形成的發光管I由圍繞發光空間S的球形發光部2和從該...
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