技術編號：2815910
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。1. 發明領域本發明涉及在基底上形成功能性材料的圖案的方法。具體地講，該方法使用 具有凸起表面的彈性印模在基底上形成圖案以用于組件和器件的微細加工。2. 相關技術的描述幾乎所有電子器件和光學器件均需要進行圖案化。 一直以來都釆用光刻工藝 來制造微電子器件以便形成所需的圖案。根據這項技術，將導電材料、絕緣材料 或半導電材料的薄膜沉積到基底上，并將負性或正性光致抗蝕劑涂覆到材料的外 露表面上。然后以預定圖案照射抗蝕劑，并洗掉表面上照射到或未照射到的抗蝕 劑部分...
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