技術(shù)編號(hào):2755766
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù)本發(fā)明涉及光敏光致抗蝕劑組合物和生產(chǎn)這樣的組合物的方法。特別地,本發(fā)明涉及光致抗蝕劑組合物,其包含如下組合物該組合物包含a)用約3-約7wt%萘醌二疊氮基磺酰基加以部分酯化的酚醛清漆樹(shù)脂;b)一種或多種稀釋樹(shù)脂;和c)至少一種溶劑。這樣的光致抗蝕劑組合物提供正性光致抗蝕劑,該正性光致抗蝕劑顯示對(duì)較厚膜而言的低吸收,良好的感光速度(photospeed),可調(diào)節(jié)的對(duì)比度,良好的保存期限穩(wěn)定性,低脫氣潛在可能性,基本無(wú)結(jié)晶,優(yōu)異的涂覆性能和寬譜帶敏感性...
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