技術編號：2733053
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種新穎的電調諧微流控光丌關陣列芯片的集成化制作方法，屬 于光通信網絡器件集成。背景技術微流控光學是一項具有重要意義的新技術，它將現代微流控技術和微光電子 技術相結合，研制一類能夠根據外界環境變化、具有結構重組和自適應調節能力 的光學集成器件和系統，將在傳感、通信、信息處理等領域具有重要的應用前景。微流控技術作為微全分析系統的關鍵與核心， 一直是MEMS領域中的一個研 究重點。隨著微流控技術水平的不斷提高以及與其它學科的不斷滲透與融合，近 年來已...
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