技術編號：2716286
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明公開了，包括以下步驟1）在石墨烯表面涂抹光阻材料；2）將步驟1）得到的光阻材料-石墨烯復合材料曝光顯影，得到需要的圖形；3）將步驟2）得到的曝光顯影后的光阻材料-石墨烯復合材料送入反應裝置，將顯影暴露的石墨烯轉變為石墨烷；4）去除步驟3）得到的復合材料上的光阻材料，得到圖形化的石墨烯。本發明將需要圖形化的石墨烯部分進行保留，而將不需要的部分變成石墨烷，由于石墨烷不導電，所以不會影響石墨烯的導電性能，這樣既保證了石墨烯的功能性圖形化得以實現，同時也保留...
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