技術(shù)編號(hào):2702384
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種投影物鏡系統(tǒng)中光學(xué)元件軸向調(diào)節(jié)裝置,涉及深紫外投影光刻物鏡結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與裝調(diào),為解決現(xiàn)有光學(xué)元件調(diào)整裝置存在的結(jié)構(gòu)復(fù)雜,加工困難,且缺乏預(yù)緊機(jī)構(gòu)的問(wèn)題,該裝置包括四個(gè)電容傳感器、鏡框、四個(gè)柔性驅(qū)動(dòng)塊和四個(gè)壓電疊堆驅(qū)動(dòng)器,四個(gè)柔順驅(qū)動(dòng)塊上端固定在鏡框上,且均布在鏡框底部圓柱面上;壓電疊堆驅(qū)動(dòng)器固定在柔順驅(qū)動(dòng)塊上;四個(gè)電容傳感器分別與鏡框的上表面平行設(shè)置,并與壓電疊堆驅(qū)動(dòng)器的輸入點(diǎn)對(duì)應(yīng);鏡框內(nèi)放置光學(xué)元件;鏡框底部加工四個(gè)均布的矩形凹槽;柔順驅(qū)動(dòng)中柔順結(jié)構(gòu)頂部...
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