技術編號：2680955
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種干涉顯微鏡系統。背景技術 許多學科領域的科學問題對微尺度的測量技術提出了越來越高的需求，微米量級的測量技術已經不能滿足科學發展的需要，納米尺度的測量技術研究已成為測量學領域努力實現的目標。目前已經存在的高精度的微尺度測量技術如原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡等可以提供很高的測量精度，但是它們對機械振動、空氣擾動、以及溫度變化等外界環境非常敏感，并且是接觸式測量，應用范圍受到了一定的限制。發明內容針對上述存在的問題，本發明的目的在于提供一種長工作距...
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