技術編號：2073501
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種開鎖工具，特別涉及一種晶圓盒開鎖工具。背景技術目前，在半導體生產工藝車間內，一般采用晶圓盒傳送晶圓。通常，現有的晶圓盒包括一面開口的盒體和門蓋，所述門蓋與盒體的開 口處相配合，用于封閉所述盒體，所述盒體的內壁設有用于放置晶圓的若干凹槽。所述門蓋上設有用于所述門蓋的鎖孔，一般有兩個鎖孔間隔設置。開鎖時，由于晶圓盒較重，并且內部裝有容易碰傷的晶圓，因此，需要一個操作人員托住晶圓盒，另一個操作人員依次將兩把鑰匙插入鎖孔內，分別轉動鑰匙，以打開鎖...
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