技術編號：1969098
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種玻璃基板的加工裝置，尤其涉及一種基板與掩膜板的自動對位裝 置及自動對位方法。背景技術玻璃基材等薄板已廣泛用于制造IXD-TFT顯示屏、有機發光顯示器件(OLED)面 板、薄膜太陽能面板應用及其他類似者。于此類應用中大多在潔凈玻璃上鍍覆薄膜晶體管， 這類大型玻璃基材的制程通常包含實施多個連續步驟，包括如化學氣相沉積制程(CVD)、物 理氣相沉積制程(PVD)、有機物質蒸鍍、磁控濺射沉積或蝕刻制程。用于處理玻璃基材的系 統可包括一或多個制程處理室...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。