技術編號：1961413
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及。 背景技術以往，在半導體制造裝置中，使用靜電卡盤來固定晶片。靜電卡盤具備施 加電壓的內部電極和層疊于該內部電極的電介質層，其是以在放置有晶片的狀 態下對內部電極施加電壓時電介質層和晶片之間產生靜電吸附力的方式來構成的。靜電卡盤有具有一個內部電極的單極方式和分離設置有一對(即兩個) 內部電極的雙極方式。單極方式的靜電卡盤中，靜電吸附力是通過在其內部電 極和設置于靜電卡盤的外部的外部電極之間施加電壓而產生的，雙極方式的靜 電卡盤中，靜電吸附力是通過...
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