技術編號:1848418
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種用PCVD方法即等離子體化學汽相沉積法制作光纖預制棒的沉積車床,尤其涉及該沉積車床的微波沉積裝置。背景技術在現有技術中已存在有用于PCVD加工的光纖預制棒沉積車床,該沉積車床主要包括床身結構、機械傳動部分、微波沉積裝置和預熱爐裝置。現有沉積車床均為設置一套微波沉積裝置的單諧振腔結構,即一次只能加工一根光纖預制棒,由于微波沉積加工一根光纖預制棒的時間較長,需要旋轉往復幾萬次才能完成一根預制棒的沉積加工,因此單諧振腔結構的微波沉積裝置不僅加工效率...
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