技術編號：1483124
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及清洗方法，更具體地說，涉及一種。 背景技術對于制作LED芯片來說，襯底材料的選用是首要考慮的問題。應該采用哪 種合適的襯底，需要根據設備和LED器件的要求進行選擇。目前市面上一般采 用藍寶石襯底。通常，GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。 藍寶石襯底有許多的優點首先，藍寶石襯底的生產技術成熟、器件質量較好； 其次，藍寶石的穩定性很好，能夠運用在高溫生長過程中；最后，藍寶石的機 械強度高，易于處理和清洗。因此，大多數工藝一般都以藍寶石...
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