技術編號:12611481
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及光學薄膜制備方法技術領域,特別是一種基于透過率測量定量評估金屬高反膜環境穩定性的方法。背景技術隨著科學技術的發展,大口徑光學元件已廣泛應用于天文觀測、空間光學和大型激光系統等領域。大口徑光學元件依據其用途而言,主要有高反元件和增透元件,且反射元件的應用波段通常涵蓋紫外、可見到中遠紅外波段。在光學薄膜領域,最常見用于大口徑光學元件的反射膜是金屬反射膜,鍍制金屬反射膜的常用材料有鋁(Al)、銀(Ag)、金(Au)等。目前,Al基反射膜和Ag基反射膜都被廣泛應用于大口徑光學元件。但金屬膜的使...
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