技術編號：12599078
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明是關于一種半導體元件及其制造方法，且特別涉及一種用于整流的溝槽式肖特基二極管元件及其制造方法。背景技術不同于一般的PN二極管，肖特基二極管(Schottkydiode)是利用金屬與半導體接合時所產生的肖特基能障(Schottkybarrier)，來產生整流的效果。并且，肖特基二極管具有較低的導通電壓降，以及較高的切換速度。除此之外，肖特基二極管能承載較大的順向電流，并阻擋反向偏壓電流。因此，肖特基二極管系為一種低功耗、大電流及超高速的半導體器件。因此，肖特基二極管(Schottkydiod...
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