技術編號:12593231
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明提出了硅基縫隙耦合式的直接式毫米波信號檢測器,屬于微電子機械系統(MEMS)的技術領域。背景技術當今時代是信息科學技術日益深刻發展的時代,各種各樣的電子電路技術都層出不窮的出現,對于信號的檢測技術來說,這項技術一直是軍事、航空航天以及無線通信等領域的重要研究內容。毫米波信號是波長為一到十毫米范圍內的電磁波,它處于微波和遠紅外波相交疊的區域,簡單的說毫米波是微波向高頻的延伸或光波向低頻的發展,過去,人們只對微波及微波以下的低頻信號進行著深刻的研究,但是隨著目前信號頻率的不斷上升,毫米波信號的...
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