技術編號：12588786
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及半導體技術領域，特別是，涉及一種光刻膠厚度的確定方法。背景技術現有技術中，光刻膠的厚度一般通過光刻膠厚度與關鍵尺寸關系曲線確定。即以光刻膠厚度為X軸，關鍵尺寸CD(criticaldimension)為Y軸做出光刻膠厚度與關鍵尺寸關系曲線，當目標尺寸為線條間space尺寸時，取光刻膠厚度與關鍵尺寸關系曲線中波谷位置對應的光刻膠厚度；當目標尺寸為線條line尺寸時，取光刻膠厚度與關鍵尺寸關系曲線中波峰位置對應的光刻膠厚度。CN101872127A公開了一種光刻膠厚度與關鍵尺寸關系曲線的制...
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