技術(shù)編號(hào)：12381348

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實(shí)施例關(guān)于清潔在真空處理系統(tǒng)處或在真空處理系統(tǒng)內(nèi)的載體。實(shí)施例特別關(guān)于一種粒子去除裝置、加載鎖定腔室和真空處理系統(tǒng)。背景技術(shù)基板常在例如在真空涂覆工廠中、在高真空條件下、以5×10-4hPa(百帕)到0.5hPa范圍內(nèi)的壓力進(jìn)行涂覆。為了增加工廠生產(chǎn)率并避免針對(duì)每個(gè)基板、特別是對(duì)于高真空區(qū)段(high-vacuumsection)必須對(duì)對(duì)整個(gè)安裝體抽真空，將加載與卸載鎖定裝置(loadandunloadlocks)用于基板。例如，在平板顯示器的生產(chǎn)中，來自于處理系統(tǒng)的機(jī)械組件和來自工藝本身這兩者...
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