技術編號：12214396
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及藍寶石襯底加工技術領域，具體為一種藍寶石襯底拋光裝置。背景技術隨著高亮度LED在照明工程領域需求量的急劇增長，帶動了國內藍寶石襯底材料制備產業的發展。由于藍寶石晶體具有耐高溫、耐腐蝕、透光波段寬等顯著特點，是外延長的首選襯底材料，但也正是由于藍寶石硬度極高、脆性大、化學性質穩定的特點，給材料加工，尤其是晶片表面納米級拋光在技術上帶來很多困難，為應對光電技術的發展對產品襯底材料表面提出的超光滑、無損傷的要求，必須對藍寶石襯底進行精細拋光，拋光時需要使拋光盤與藍寶石襯底貼合以產生壓力進...
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