技術編號:12180374
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。半導體器件及其制造方法相關申請的交叉引用本申請要求2015年9月2日提交的申請號為10-2015-0124370的韓國專利申請的優先權,其全部公開內容通過引用整體地并入本文。技術領域本公開涉及半導體器件及其制造方法,具體地說,涉及包括三維布置的存儲單元的半導體器件及其制造方法。背景技術半導體器件可以包括存儲塊。存儲塊每個可以包括將數據儲存在其中的存儲單元。為了提高存儲單元的集成度,存儲單元可以具有三維布置。關于這一點,存儲塊層疊可以包括交替的垂直層間絕緣膜和導電圖案。另外,存儲單元分別連接到導電...
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