技術編號：12129371
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種晶圓清洗設備，尤其涉及一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備。背景技術電子產品，是指供日常消費者生活使用之電子產品。它屬于特定的家用電器，內有電子元件，通常會應用于娛樂、通訊以及文書用途，例如電話、音響器材、電視機、DVD播放機甚至電子鐘等。消費電子產品于世界各地均有制造。從工業和信息化部運行監測協調局了解到，2012年1～11月，我國電子信息產品進出口總額10685億美元，同比增長4.1%，增速比1～10月提高0.8個百分點。芯片或稱微電路、微芯片、集成電路，在電子學中是一種把電...
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