技術編號：12129367
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種高效硅片脫膠裝置【技術領域】本發明涉及多晶硅生產的技術領域，特別是硅片脫膠槽的技術領域。【背景技術】硅片表面的清潔度是影響硅片合格率和電池轉換效率的關鍵因素。為獲得潔凈度較高的硅片，往往硅片在經過線切割后需要脫膠清洗和精細清洗兩個部分。現有的脫膠裝置脫膠效果不夠理想，脫膠完成后容易產生大量的殘留，不利于后面的清洗。【發明內容】本發明的目的就是解決現有技術中的問題，提出一種高效硅片脫膠裝置，能夠使硅片脫膠效果提高，同時提高脫膠效率。為實現上述目的，本發明提出了一種高效硅片脫膠裝置，包括固定環形...
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