技術編號：12012986
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及靶材技術領域，尤其涉及的是一種加鎵的AZO高密度旋轉靶材。背景技術傳統的AZO靶材(氧化鋅ZnO+氧化鋁Al2O3)現廣泛應用于節能低輻射玻璃(又稱Low-E玻璃)以及太陽能薄膜電池的制造中。其特點是用AZO材料鍍制的薄膜透明、導電，且有良好的附著力。但隨著行業的發展，鍍膜產業對材料提出了更高的要求。鍍膜行業要求膜的透過率更高、導電性更高。這就對材料的改進提出了新的挑戰。經過試驗表明，在AZO(氧化鋅ZnO+氧化鋁Al2O3)中添加0.1-10％的氧化鎵(Ga2O3)可以改善AZO...
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