技術編號：11971825
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及微納器件及傳感器領域，尤其涉及一種制備于柔度可控基底上的連通性可調的鈀基氫氣傳感器及其制作方法。背景技術與常規的氫氣傳感器不同，鈀或鈀合金在與氫氣反應時其電阻和體積會發生顯著的變化。這些變化由兩種不同機制導致，并分別被用于制作不同的氫氣傳感器。1.鈀基電阻率型氫氣傳感器鈀基電阻率型氫氣傳感器依賴于材料電阻率的變化。由環境中而來的氫氣分子首先被分解成氫原子。氫原子遷移到鈀基晶格的空隙位置。對鈀而言，當氫的含量由0增加到2.5％時，鈀仍然維持在α相，填隙的氫原子成為電荷載流子的散射中心，結...
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