技術編號:11857113
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及稀有氣體制造及化工深冷工程技術領域,具體涉及一種由氖氦混合氣生產純氖的裝置及其方法。背景技術現有技術中,由氖氦混合氣生產純氖的生產工藝流程如圖1所示,整個流程由相互切換的兩個獨立除氮單元冷箱(第一冷箱1和第二冷箱2)和氖氦精餾冷箱3組成。圖1中,第一冷箱1中充滿了負壓的液氮,其溫度約為65K,第一氮吸附器A正在工作,第二冷箱2中的液氮已經被抽走,并恢復室溫,第二氮吸附器B正在再生。30公斤左右表壓壓力(1公斤壓力指的是1公斤重的物體作用在1平方厘米的面積上所產生的壓強,1公斤壓力等于0...
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