技術編號：11726925
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及半導體技術領域，特別是涉及一種TEM樣品承載裝置。背景技術隨著半導體器件的特征尺寸逐漸減小，14nm工藝節點需要更高質量的TEM(透射式電子顯微鏡)/STEM(掃描透射式電子顯微鏡)圖像來檢查程序文件，所以，需要提高TEM/STEM圖像的質量，選擇合適的樣品承載裝置是FIB(聚焦離子射束)/TEM樣品制備的必要條件之一。目前，根據不同的樣品制備技術有兩種結構的樣品承載裝置，其一是利用具有碳膜的TEM銅網，如圖1所示，所述TEM銅網1’包括銅環11’、金屬網格12’以及附在所述金屬網...
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