技術編號：11531362
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。用于工件的靜電夾持的系統和方法相關申請的引用本申請要求于2014年9月19日遞交的名稱為“SYSTEMANDMETHODFORELECTROSTATICCLAMPINGOFWORKPIECES”的美國臨時申請No.62/052,834的優先權，其內容通過引用全部合并于此。技術領域本發明總體涉及靜電夾持系統，更具體地，涉及快速釋放靜電夾持的工件的系統和方法。背景技術靜電夾具或卡盤(ESC)通常在半導體工業中用于在基于等離子體或基于真空的半導體工藝(例如離子注入、蝕刻、化學氣相沉積(CVD)等)期間...
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