技術編號：11502296
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種用于微機械構件的吸氣裝置。本發明還涉及一種用于制造用于微機械構件的吸氣裝置的方法。背景技術MEMS(英文：microelectromechanicalsystems，微機電系統)轉速傳感器要求機械MEMS元件的高機械性能。所述性能基本上通過MEMS空腔的內壓限定。通過剩余氣體和機械振動器結構之間的摩擦持續地從系統中抽走能量，由此限制了機械系統中的最大性能。為了設定低的內壓(即傳感器的高性能)，傳感器晶片和罩晶片在期望的內壓下鍵合在一室中。這個方法提供了設定大于約1mbar的內壓的可...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。