技術編號：11454523
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。具有增強結構強度的微機電元件本申請為2013年10月14日提交的、申請號為201310478753.9的、發明名稱為“具有增強結構強度的微機電元件”的申請的分案申請。技術領域本發明涉及一種具有增強結構強度的微機電元件，特別是其中構成微機電結構的最上金屬層具有多個獨立金屬段、及/或其中構成微機電結構的最下金屬層具有連續結構的微機電元件。背景技術參照圖1，其中顯示一現有技術的微機電元件10的示意圖，其可作為一定子(Stator)或一動子(Rotor)。微機電元件10包含微機電結構101和電訊號傳遞線...
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