技術編號:11150678
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及真空設備及承壓設備,氣體輸送系統中的控制部件,具體為一種可抽真空的自緊密封閥門,適用于高純氣體注入場合。背景技術真空閥門是真空系統中必不可少的氣體控制部件,要求有較高的氣密性,不污染工作介質,并且對氣流的阻力要盡量小;高壓閥門則要求能承受額定的工作壓力,并避免各種形式的泄漏。有些場合需要先對容器或管道抽真空而后注入高純氣體,這就需要閥門同時具有真空密封及高壓密封的功能。目前市場上已經有較多系列化的既有真空密封又有高壓密封功能的閥門,這些閥門尺寸雖然較小但流導也很小,對抽真空很不利,或者...
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