技術編號：11071575
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種電容壓力傳感器，特別是一種動電極板鍍金的電容壓力傳感器，主要用于測量小微壓力。背景技術在壓力測量中，特別是小微壓力，電容壓力傳感器呈優勢。目前有代表性的是美國MKS公司的6系列電容壓力傳感器。以626型電容壓力傳感器為例，量程為絕對壓力0.1Torr至1000Torr，與被測介質接觸部分全部用恒彈性耐腐蝕的鎳基合金（InconelX-750）制作。如圖3、圖4所示。12是動電極，恒彈性耐腐蝕鎳基合金制作；13定電極絕緣體，Al2O3陶瓷制作；14內電極；15導電膜；16絕緣厚膜...
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