技術編號:11071559
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種電容壓力傳感器,特別是一種以藍寶石單晶作為定電極絕緣體的藍寶石絕緣體定電極的電容壓力傳感器,它可以廣泛應用于微電子、鈾濃縮等需高可靠性、小微量程的高精度測量。背景技術對于電容式壓力傳感器,特別是絕壓微小量程的電容傳感器,即在100kPa~10-2Pa的測量范圍內,呈現優勢,種類繁多。有代表性的是美國MKS公司生產的6系列電容壓力傳感器。以626型電容壓力傳感器為例,它的結構如圖3、圖4所示。626型電容壓力傳感器的原理是基于平行板電容器,它的動電極1,是用恒彈性耐腐蝕合金薄膜制...
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