技術編號:10871401
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。目前,生產石英坩禍的熔制機結構中,遮熱板材質多采用不銹鋼(內通循環水冷卻)或是高純石英板。在熔制坩禍過程中為了保證熱量不散失,遮熱板開孔直徑一般在270—300mm之間,由于遮熱板開孔較小,熱量較高,經常發生電弧灼燒遮熱板的現象,導致遮熱板上的金屬顆粒掉入坩禍內表面后形成黑點,該黑點主要成分為鐵元素,在拉單晶過程中會嚴重影響單晶品質,同時也會引起坩禍析晶等問題,造成坩禍不合格;另外長時間高溫也易造成遮熱板局部接縫漏水,掉入坩禍,造成缺陷。而高純石英板作為遮...
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