技術編號：10817927
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。絕緣聯軸器主要負責真空鍍膜設備中靶材旋轉的動力傳動、冷卻水的傳遞以及陰極和其他部件的絕緣。絕緣聯軸器在設備整個真空鍍膜的過程中，對設備的穩定性和產品的質量起了非常關鍵的作用。傳統的絕緣聯軸器在功能上滿足了動力傳動，冷卻水的傳遞以及陰極和其它部件的絕緣。但隨著長時間電弧放電真空鍍膜，真空腔體內的剝落小碎片逐漸掉落，導致絕緣聯軸器兩端產生部分短路或完全短路。然而，陰極和其它部件部分或完全短路，導致設備無法正常工作。如果沒有及時發現，一方面所有鍍膜產品報廢，另一...
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