技術編號:10727528
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。為了避免半導體功率器件被雜質離子污染或與周圍環境中某些成分發生化學反應而導致其表面電學性能發生變化,需要在半導體功率器件中設置鈍化層,以屏蔽來自外界的影響,保證其能夠穩定和可靠的工作。但是這些雜質離子尤其是鈉離子在鈍化層中移動會引起電子積累,影響半導體功率器件表面的電場和分布,進而導致半導體功率器件工作時漏電流增大和擊穿特性退化。高壓半導體功率器件工作在高溫高壓環境下時其鈍化層中的雜質離子會變得更加活躍,通過電場作用進行再分布使得高壓半導體功率器件的表面電...
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