技術編號：10716745
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。母合金就是雜質元素與硅的合金，常用的母合金有硅磷和硅硼兩種，雜質濃度是10的-2次方和10的-3次方。采用母合金作為摻雜劑能使摻雜量容易控制、更準確，并且母合金摻雜的目的是用來改變硅熔體中施主雜質(如磷)或受主雜質(如硼)的雜質濃度，使其生長出的單晶電阻率達到規定的要求。實際進行母合金生產時，需將硅料與雜質原料裝入石英坩禍后，再經預熱、熔化(也稱熔料)、結晶、退火、冷卻等步驟，既可以采用普通的真空熔煉爐進行加工，也可以采用多晶硅鑄錠爐進行加工。但目前母合金...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。