技術編號：10716738
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。近年來，低溫多晶娃(LowTemperaturePoly-Si I icon，簡稱LTPS)技術不斷發展。采用低溫多晶硅技術生產的液晶面板，有利于提高面板開口率，使顯示器亮度提升、耗電降低，適用于生產更輕薄、低耗電、高分辨率的產品。因此，需要一種對單晶半導體進行多晶化的系統。發明內容針對以上缺陷，本發明提供一種，可以實現對單晶半導體的多晶化處理。第一方面，本發明提供的半導體多晶化系統，其特征在于，所述半導體多晶化系統具有多個噴射口，所述噴射口用于噴射熱氣體...
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