技術編號：10716518
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。目前，化學氣相沉積鍍膜機主流的電極設計為陰極電極和陽極電極均放置于真空鍍膜室內，鍍膜激發源主要采用的是射頻電源或者直流高壓電源。此類化學氣相沉積鍍膜機的配置工藝較為穩定成熟，但其在實際生產操作及維護中仍存在以下幾點不足第一，鍍膜機及附屬用的電器電柜設備集成度不高，設備整體冗繁，占地面積大；第二，陰極電極在鍍膜過程中容易被鍍層所污染，且所有陰極電極在鍍膜室內部拆卸清洗不方便，安裝及維修也不便；第三，該種鍍膜機的薄膜沉積速率仍然不夠快，放電過程中容易受到干擾，...
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