技術編號：10711598
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。已經發現微機電系統(MEMS)器件，諸如加速計、壓力傳感器、和麥克風，廣泛應用于許多現代電子器件中。例如，MEMS加速計通常發現于汽車中(例如，在安全氣囊系統中)、 平板電腦或智能手機中。對于許多應用，MEMS器件電連接至專用集成電路(ASIC)以形成完整的MEMS系統。發明內容根據本發明的一些實施例，提供了一種微機電系統(MEMS)結構，包括載體襯底，限定腔體的下表面，其中，所述載體襯底包括沿著所述下表面布置的第一抗粘滯凸塊和第二抗粘滯凸塊；氧化物層，作...
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