技術編號：10645789
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。目前，作為用于使用外延生長使外延膜在基板上生長的外延生長裝置，一種包括工藝腔室和設置在工藝腔室中的可旋轉基板支撐件并配置成圍繞旋轉軸線來旋轉基板的裝置是已知的，在這種裝置中，反應氣體在平行于基板的方向上被引入至基板，以便將膜形成在基板支撐件上的基板上。在這種外延生長裝置中，目前存在對增加生長速率的需要。然而，在反應氣體中包括大量源氣(source gas)以進一步地增加生長速率并非是優選的，例如，因為這會引起成膜成本增加或者顆粒數量增加。在外延生長中，當基...
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