技術編號：10625537
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 純金（Au)薄膜是典型的導電薄膜，由于其導電性和導熱性與耐氧化性高相結合 的獨特性能被廣泛使用，特別是用在半導體和微機電系統（MEMS)的行業。但其機械性能往 往不理想，為此新的Cr/Au復合層薄膜應用而生，其常常用作導電材料。但是在很中應用中 都對薄膜厚度以及應力要一定要求，比如采用微電子機械系統工藝的MEMS麥克風。 這種麥克風由于其小型化和輕薄化的特點，成為取代使用有機膜的駐極體電容麥 克風（Electret Condenser Microphon...
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